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电子真空泵的工作原理及常见问题解析

来源:www.lijixinkj.com 时间:2024-06-10 03:19:10 作者:自由电子网 浏览: [手机版]

电子真空泵的工作原理及常见问题解析(1)

什么是电子真空泵?

  电子真空泵是一种利用电子束轰击材料面产生气体分子离子化,然后过磁场加速聚焦的方式将离子排出的真空泵自 由 电 子 网。它常用于高真空超高真空的实验工业生产中,如半导体制造、光学薄膜沉积、真空冷却真空装等领域。

电子真空泵的工作原理

  电子真空泵主要由阴极、阳极、网格磁场组成。当阴极受到电子束轰击时,会产生大量的电子,这些电子被加速器加速后,过网格进入阳极区域,与气体分子碰撞后将其离子化oqA。离子被磁场加速聚焦后,被排出真空泵的出口,从而实现真空泵的工作

电子真空泵的

电子真空泵具有以下点:

  1. 可以实现高真空超高真空,比机械泵扩散泵更适用于高精度实验生产工艺。

  2. 具有较高的抽气速度较低的气体残留量,能够快速将气体排出真空室自由电子网

  3. 由于没有机械运动部件,因此不会产生振动噪音。

常见问题解析

  1. 电子真空泵会响吗?

  电子真空泵不会发出噪音,但在工作时可能会发出微弱的呼吸声,这是由于电子束轰击阴极产生的电子云离子流动引起的,不会影响真空泵的正常工作。

  2. 电子真空泵如何保养?

  电子真空泵在使用过程中需要期清洗阴极阳极,以保证其面的光洁度电子发射能力lijixinkj.com。同时,需要期更换网格磁体,以保证真空泵的稳可靠性。

3. 电子真空泵的抽气速度如何?

  电子真空泵的抽气速度取于其功率计参数,一般可以达到几千升每秒的抽气速度,比机械泵扩散泵更高。同时,电子真空泵的抽气速度也受到气体种类压力的影响自.由.电.子.网

结论

  电子真空泵是一种高效、稳、可靠的真空泵,广泛应用于高真空超高真空的实验工业生产中。在使用过程中需要注意保养,以保证其长期稳运行。

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